Отработаны режимы осаждения углеродных алмазоподобных пленок на различные подложки. Получены пленки поликристаллического алмаза, алмазоподобного углерода и слои, содержащие углеродные нанотрубки. Оптические спектры рамановского отражения свидетельствуют о наличии нанотрубок. Показано, что форму наночастиц катализатора при синтезе углеродных нанотрубок можно контролировать технологическими условиями.