Исследован профиль распределения кислородных термодоноров в кремнии. При создании методом быстрой термодиффузии тонких слоев, легированных бором либо алюминием, профиль распределения кислородных термодоноров неоднороден. Неоднородность отмечена на глубине 5-15 мкр. Обнаружен эффект уменьшения равновесной концентрации собственных дефектов некоторыми примесями.
