Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Исследование образования плазменно-пылевых структур в газовых разрядах в приложении к нано- и микроэлектронике

Руководитель проекта: Т.С.Рамазанов
Исполнители проекта: М.К.Досболаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0209РК01171
Регистрационный номер: 0107РК00637
Ключевые слова: Плазменно-пылевые структуры, Пылевая плазма, Газовые разряды,