Осуществлена имплантация кислорода на различную глубину матриц (медь и нержавеющая сталь 12Х18Н10Т). Исследовано поведение имплантированного наноструктурного слоя кислорода при термическом воздействии. Показано, что при температуре отжига 200 {o}C в системе происходит диффузия кислорода вглубь образца меди. Следовательно, кислород не может быть применен в качестве подповерхностного барьерного слоя меди.