В системе тантал - вольфрам при формировании покрытий нанослоями происходит взаимное растворение компонентов с образованием твердых растворов. В системе тантал - медь формирование сплавов ионно-плазменным распылением и соосаждением частиц сопровождается получением твердых растворов - сплавов бета-тантала с медью.