ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Исследование образования плазменно-пылевых структур в газовых разрядах в приложении к нано- и микроэлектронике

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Т.С.Рамазанов
Work head: К.Н.Джумагулова, М.К.Досболаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарлық номер: 0208РК01354
Тіркелген номер: 0107РК00637
негізгі сөздер: Плазма, Пылевая плазма, Газовые разряды, Тлеющие разряды,