Исследованы оптические свойства аморфного кремния при термическом отжиге. В структуре аморфного кремния выявлены сильно связанная основная подрешетка и слабо связанная подрешетка дефектов. На величину оптической ширины запрещенной зоны оказывают влияние обе подрешетки. Разработана технология получения силана из металлургического ферросилиция. Добавка присадок, подавляющих реакцию гидролиза, позволяет повысить выход силана до 85 %. Изготовлена малотоннажная установка по производству силана.
