Отработан способ введения атомарного водорода в кремний. Исследованы процессы диффузии водорода в монокристаллическом кремнии через фазовую границу SiO[2]/Si. Показано, что гидротермальная обработка приводит к значительной диффузии водорода. Атомы водорода влияют на процессы радиационного комплексообразования. Проведено разделение точечных дефектов и протяженных кластеров на основе различия в температурных зависимостях спин-решеточной релаксации.