Выявлены закономерности образования фаз внедрения при радиационно-термической обработке материалов ионной имплантацией. Исследовано влияние ионной имплантации на структуру и свойства дисперсионно-твердеющего сплава 36НХТЮ. Показано, что ионная имплантация сплава влияет на его коррозионные свойства, повышает циклическую стойкость. Радиационно-термическая обработка устраняет структурную неоднородность и значительно улучшает метрологические характеристики упругих чувствительных элементов.