ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Х.А.Абдуллин
Work head: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0208РК01198
Тіркелген номер: 0107РК00569
негізгі сөздер: Тонкие пленки, Наноструктурные материалы, Углеродные нанотрубки, Плазмохимия,