Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств
Отработаны режимы осаждения углеродных наноструктурированных слоев методом ионно-лучевого распыления и термического отжига. Исследованы морфология и фазовый состав углеродных слоев. Получены слои углеродных нанотрубок. Определены технологические условия получения слоев, состоящих из ориентированных углеродных нанотрубок.
