Разработка научной методологии создания химических и биологических сенсоров на основе полупроводниковых наноструктур, сопряженных с различными системами молекулярного распознавания
Объект исследования: полупроводниковые структуры на основе монокристаллического кремния с р-проводимостью. Для оксидной поверхности кремниевого полупроводника выведена зависимость рН от степени химического модифицирования, поверхностного потенциала и заряда оксидной фазы полевого транзистора. Предложена схема получения рН-чувствительного полевого транзистора на основе монокристаллического кремния и полупроводниковых структур типа "электролит - оксид - полупроводник". Измерены электрофизические характеристики полевых транзисторов в растворах электролитов.
