Анодным травлением в кислотных электролитах получены пористые оксидные упорядоченные структуры на основе монокристаллических пластин кремния и высокочистых фольг алюминия и титана. Показано, что в спиртовых растворах плавиковой кислоты формируются протяженные каналы макропористого кремния диаметром до 2 мкм, которые упорядочиваются в организованный массив под тонким слоем нанокристаллического люминесцентного кремния. Алюминий анодировался по двухступенчатой технологии в электролитах на основе серной, щавелевой и ортофосфорной кислот в потенциостатическом режиме. При первичном анодном окислении образуются матрицы с низкой организацией нанопор. Этот слой удаляется, и операция анодирования повторяется при тех же условиях. Ямки, оставшиеся от первой стадии, являются зародышами роста более высокоорганизованной пористой структуры с размером пор 30-500 нм в зависимости от выбранного электролита и режима окисления. Подложки титана анодировались в растворах фторида аммония в глицерине и этиленгликоле. Показана возможность создания пористого оксида с диаметром нанотрубок 100 нм.