Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Синтез тонких (130 нм) полупроводниковых пленок карбида кремния на кремнии методом ионной имплантации для микроэлектроники

Руководитель проекта: К.Х.Нусупов
Исполнители проекта: Н.Б.Бейсенханов
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0207РК01367
Регистрационный номер: 0107РК00576
Ключевые слова: Кремний, Полупроводники,