Осуществлено осаждение пленок нестехиометрического оксида методом термического испарения и магнетронного распыления на подложки из кварцевого стекла. Проведено напыление серебра методом соиспарения или сораспыления. Образцы в виде тонких пленок нестехиометрического оксида кремния получены при остаточном давлении в камере (1-5).10{-3} Па. Изучены структура и состав пленок нестехиометрического оксида и металла при отжиге.
