ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Синтез полупроводниковых наноразмерных пленок с резкими границами

Жетекшінің аты-жөні, тегі: С.Ж.Токмолдин
Work head: В.В.Клименов
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0207РК01302
Тіркелген номер: 0107РК00190
негізгі сөздер: Наноструктурные материалы, Тонкие пленки, Полупроводники, Плазмохимия,