ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ЕСR и исследование их свойств

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Х.А.Абдуллин
Work head: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Инвентарлық номер: 0207РК01292
Тіркелген номер: 0107РК00569
негізгі сөздер: Тонкопленочные материалы, Наноструктурные материалы, Тонкие пленки,