Отработан способ создания слоев пористого кремния, образованных микро- и нанокристаллами. Предложен гидротермальный способ введения высокой концентрации атомарного водорода в слои пористого кремния. Показана возможность проведения диффузии водорода в объем кремния из тонких слоев пористого кремния, насыщенного водородом. Определены температурные режимы диффузии водорода. Исследован эффект пассивации мелкой примеси.
