ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Ф.А.Мукашев
Work head: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарлық номер: 0207РК01188
Тіркелген номер: 0106РК00955
негізгі сөздер: Аморфный кремний, Силан, Кремний, Наноструктурные материалы,