Исследование основных закономерностей формирования аморфных и наноструктурированных пленок кремния с использованием кремнийсодержащих кластерных соединений: силилфосфина, силилборана и силилэтилена
Руководитель проекта: Ф.А.Мукашев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
