Разработка методов осаждения микро- и поликристаллических пленок полупроводникового кремния для создания тонкопленочных солнечных элементов
Жетекшінің аты-жөні, тегі: Ф.А.Мукашев
Work head: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарлық номер: 0207РК01187
Тіркелген номер: 0106РК00956
негізгі сөздер: Микрокристаллический кремний, Поликристаллический кремний, Кремний, Полупроводники, Тонкопленочные материалы, Тонкие пленки, Солнечные элементы,
Изготовлена установка для синтеза пленок микрокристаллического и поликристаллического кремния из силана. Определены температурные режимы осаждения пленок из силана. Рост пленок при магнетронном распылении зависит от тока разряда, расстояния "мишень - подложка", давления газа в камере распыления.
