Разработка и создание технологии получения нанодисперсных танталовых высокоемких конденсаторных порошков для изготовления уникальных компонентов микроэлектроники
Жетекшінің аты-жөні, тегі: С.К.Кожахметов
Work head: В.В.Шевляков
: Науч.-произв. центр "Ульба"
Инвентарлық номер: 0207РК01154
Тіркелген номер: 0107РК00481
негізгі сөздер: Тантал, Наноструктурные материалы, Порошковые материалы,
Обоснована возможность получения нанопорошков на основе тантала размерностью 50-120 нм методами осаждения из растворов и низкотемпературной конденсации. Отработаны технологическая последовательность операций и параметры процессов.
