Разработка и создание технологии получения нанодисперсных танталовых высокоемких конденсаторных порошков для изготовления уникальных компонентов микроэлектроники
Обоснована возможность получения нанопорошков на основе тантала размерностью 50-120 нм методами осаждения из растворов и низкотемпературной конденсации. Отработаны технологическая последовательность операций и параметры процессов.
