Модернизировано экспериментальное оборудование для электронно-лучевой обработки металло-полимерных, полупроводниковых и высокотемпературных полимерных пленок. Разработана радиационно-электронная технология получения металлизированных полимерных пленок и полупроводниковых материалов (Si, GaS) в условиях мощных потоков ионизирующего излучения и электромагнитных полей. Найдены режимы формирования в кремниевых пластинах внутреннего геттера с улучшенными свойствами и наименьшим количеством дефектов. Получены опытные образцы, создан технологический регламент. Проведен физико-химический анализ опытных образцов.
