Проведены термодинамические расчеты высокотемпературного процесса взаимодействия алюминия с расплавами силикатных шлаков. Создана опытно-экспериментальная пилотная линия для получения силана и поликристаллического кремния. Отработаны режимы реактивного магнетронного напыления с получением тонких пленок кремния необходимого состава.