ҒТА ұлттық қоры / ҒЗЖ туралы есептер

Разработка технологии изготовления гетеротранзисторов на основе аморфного и кристаллического кремния. Отработка технологических режимов изготовления базовых и эмиттерных областей гетеротранзисторов

Жетекшінің аты-жөні, тегі: Туякбаев А.А.
Work head: А.А.Туякбаев
: НИИ хим.технол.и пром.экол.
Инвентарлық номер: 0296РК00431
Тіркелген номер: 0194РК00826
негізгі сөздер: кремневые, транзисторы, изготовление, технологии, базы, расчетные, параметры,