Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка и внедрение спецстойкой и экстратемпературостойкой электронной компонентной базы на основе структур "кремний на изоляторе"

Руководитель проекта: Ю.В.Горелкинский
Исполнители проекта: Х.А.Абдулин
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0206РК00143
Регистрационный номер: 0105РК00153
Ключевые слова: Кремний, Тонкопленочные материалы, Полупроводники,