Спроектирована опытно-экспериментальная установка по получению поликристаллического полупроводникового кремния из кремнийсодержащих отходов фосфорного производства. Осуществлена проверка блоков оборудования, качества сборки узлов, проведены испытания на герметичность и избыточное давление опытной установки получения моносилана.